Mechanische Eigenschaften von Halbleiterrollen: Bestimmung der mechanischen Eigenschwingungsfrequenzen in einer zylindrischen Halbleiterheterostrukturrolle

Einband
Taschenbuch
Autor(en)
Buchholz, Antje
Verlag
AV Akademikerverlag
Ausgabe
2014
Formatangaben
96 Seiten; 220 x 150 mm
Sprache
ger
ISBN
3639629582
ISBN-13 / EAN
9783639629583
Schlagworte
Eigenfrequenz, Halbleiterrollen, Kift-off, selektives Ätzen, Selbstaufrollen von pseudomorphen hochverspannten Halbleiterdoppelschichten, Eigenschwingungen
Preis
EUR 54,90 (inkl. MwSt.)
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Mechanische Eigenschaften von Halbleiterrollen
Herstellung der zylindrischen Rolle aus verspannten Halbleiterheterostrukturen mit einem genau auf den zur Verfügung gestellten Wafer abgestimmten Ätzverfahren, sowie optische Untersuchung der Mikrorollen und Katalogisierung. Übertragung der Schwingungen eines Piezokristalls auf die Mikrorollen und Schwingungsmessungen mit Hilfe eines Michelson Interferometers. Ermittlung der Eigenschwingungen der Mikrorollen durch Vergleich von Messungen auf den Rollen und auf dem Substrat. Diskussion des Ätzvorganges und des Aufrollprozesses anhand des verwendeten Messobjektes. Diskussion der Schwingungsmoden in Luft und im Vakuum an einer langen und einer kurzen Mikrorolle. Vergleich der theoretischen Berechnungen des Kooperationspartners mit den experimentellen Ergebnissen der Schwingungsmodenfrequenzen. Schlussfolgerungen über die Abhängigkeit von Eigenschwingungen und Radius bzw. Länge der zylindrischen Halbleiterobjekte.
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